KEMET メタルケース高性能アクチュエータ

KEMET メタルケース高性能アクチュエータは、周囲の湿度から保護し、高性能と長寿命を実現するメタルシール設計が特長です。これらの多層圧電素子アクチュエータには、AHB、ASB、およびASLシリーズが含まれます。これらのデバイスは、独自のエレメント構造設計と高い電気ストリクティブ係数の圧電セラミック材料に基づいています。KEMET メタルケース高性能アクチュエータは、従来の圧電素子アクチュエータよりも小型ですが、低電圧でより大きな変位と力を生み出します。これらのアクチュエータは、±20%の静電容量許容差、最大150V_DCの駆動電圧、および1MΩ以上の絶縁抵抗が特徴です。用途としては、コントローラ、検査およびリソグラフィシステム、ならびに蒸着およびエッチングプロセスが適しています。