TE Connectivity / Measurement Specialties 85UHP 圧力センサ
TE Connectivityの (TE) /測定Specialties 85UHP圧力センサ、316L ステンレス鋼または合金C276モジュールに組み込まれたMEMS圧電抵抗チップ特徴としており、シリコーン オイルが充填され、前面の薄い波状のダイヤフラムから圧力を伝達します。メディア対応で溶接可能なコンパクトな側面、OEM向けに設計および製造されており、標準のISO85TE超える半導体アプリケーションプロセス期間に対応します。85UHP圧力センサーは、超高純度および超高真空用途向けに最適化された接液材料オプションと表面粗さを備えています。これらのデバイスは、TEの高度なMEMS機能を利用して、精度と安定性を実現しています。
特徴
- 絶対圧力測定
- ソリッドステートの高信頼性
- C276または316L SSの濡れた表面材質（オプション）
- 補償の有無 － オプション
- F105-compliant接液面（合金C276バリアント）
アプリケーション
- ガスキャビネット
- 質量流量コントローラ
- 高純度ガス供給システム
- 圧力、およびフロー制御
- 半導体プロセス
仕様
- 10-3Paでの高真空安定性
- 最大圧力非直線性：±0.1%
- ダイアフラム直径：13mm
- 0.1% スパン/ 年の長期安定性
- 動作温度範囲: -40°C～+125°C
ビデオ
寸法 － 補償なし
寸法 － 定電流補償
寸法 － 定電圧補償
公開: 2025-09-19
| 更新済み: 2026-06-02