Amphenol SGX Sensortech MiCSコンパクトMOSセンサ

Amphenol SGX Sensortech MiCSコンパクトMOSセンサは、厳しい環境向けの堅牢なMEMSセンサで、小型フットプリント（5x7x1.55mm）に収められています。これらのセンサはリードタイムが短く、空気品質のモニタリング、ガス漏れ検出、汚染検出などに最適です。これらのMiCSセンサのシリコンガスセンサ構造は、組み込み発熱レジスタと上部の検出層が精密に微細加工されたダイヤフラムで構成されています。これらの空気品質センサは、10秒以内の応答時間が特徴で、-30ºC～+ 85ºCの温度範囲内で動作します。

特徴

コンパクト設計のための最小フットプリント
金属酸化物半導体センサ
MEMS技術
短い時間リード

10秒以内の応答時間
-30ºC～+85ºCの動作温度範囲
低コストアプリケーション向けの大容量生産

ソリューション

検出:
- MiCS-2714による検出可ガス:
  - 二酸化窒素（0.05～10ppm）
  - 水素（1～1000ppm）
- MiCS-4514による検出可ガス:
  - 一酸化炭素（1～1000ppm）
  - 二酸化窒素（0.05～10ppm）
  - 水素（1～1000ppm）
  - エタノール（10～500ppm）
  - アンモニア（1～500ppm）
  - メタン（1000ppm以上）
- MiCS-5524による検出可ガス:
  - 一酸化炭素（1～1000ppm）
  - 水素（1～1000ppm）
  - エタノール（10～500ppm）
  - アンモニア（1～500ppm）
  - メタン（1000ppm以上）

MiCS-5914による検出可ガス:
- アンモニア（1～500ppm）
- エタノール（10～500ppm）
- 水素（1～1000ppm）
- プロパン（1000ppm以上）
- ISO-ブタン（1000ppm以上）
MiCS-6814による検出可ガス:
- 一酸化炭素（1～1000ppm）
- 二酸化窒素（0.05～10ppm）
- エタノール（10～500ppm）
- 水素（1～1000ppm）
- アンモニア（1～500ppm）
- メタン（1000ppm以上）
- プロパン（1000ppm以上）
- ISO-ブタン（1000ppm以上）

仕様

Air sensing resistances
- 0.8kΩ to 20kΩ for NO₂ and NH₃
- 100kΩ to 1500kΩ for CO
Typical detection ranges
- 0.05ppm to 10ppm for NO₂
- 1ppm to 1000ppm for CO
- 1ppm to 300ppm for NH₃
50mW or 88mW maximum heater power dissipation
8mW maximum sensitive layer power dissipation