MEMS圧力センサ

STMicroelectronics MEMS圧力センサ には、革新的な MEMS技術 が採用されており、超コンパクトで薄型パッケージで極めて高い圧力分解能を実現しています。このデバイスは、STのVENSENS技術を 使用して設計されており、モノリシック・シリコン・チップでの圧力センサの製造が可能になります。これによって、ウェハツーウェハボンディングが排除され、信頼性を最大限に高めます。