TE Connectivity / Measurement Specialties 85UHP 圧力センサ
TE Connectivity (TE) Measurement Specialties 85UHP 圧力センサは、316L ステンレススチール、または合金 C276 モジュールに MEMS ピエゾ抵抗チップを搭載し、正面の薄いコルゲートダイアフラムから圧力を転送します。メディア互換性があり、溶接可能なコンパクトなプロファイルで、TE規格85 ISOカプセルよりも長い半導体アプリケーションプロセス期間に対応するOEM用に設計、製造されています。
TE Connectivity (TE) Measurement Specialties 85UHP圧力センサでは接液部の材質を選択することができ、表面の粗さは超高純度である場合と超高真空である場合を想定して最適化されています。TEの高度MEMS機能が活用されており、比類のない精度と安定性を実現します。
特徴
- 高い真空安定性
- F105 に準拠する湿潤面（合金 C276 バリアント）
- 動作温度:-40°C～+125°C
- 最大圧力非直線性：±0.1%
- ソリッド・ステート信頼性
アプリケーション
- ガスキャビネット
- 質量流量コントローラ
- 高純度ガス供給システム
- 圧力、およびフロー制御
- 半導体プロセス
仕様
- C276、または316L SS 湿潤表面素材 － オプション
- 補償の有無 － オプション
- 10-3Paという高い真空安定性
- 0.1% スパン/ 年の長期安定性
- 絶対圧力測定
- ダイアフラム径：13mm
寸法 － 補償なし
寸法 － 定電流補償
寸法 － 定電圧補償
公開: 2025-09-19
| 更新済み: 2026-03-03