Sensirion SFM5500 質量流量計

Sensirion SFM5500質量計は、10slm~50sccmまでの範囲のさまざまなキャリブレーションと流量範囲が備わっている高精度センサです。Sensirion SFM5500質量計は、交換式プッシュインフィッティングとデジタルインターフェイスが特徴です。これらの質量計には、Sensirion CMOSens® テクノロジーが活用されており、高精度センサ素子と最先端の信号処理がシングルチップに組み合わされています。

特徴

  • 最大流量: 10slm
  • 優れた精度と再現性(それぞれ0.8%/0.1%のセットポイント)
  • < 0.1% ~ 100%フルスケール制御と測定範囲
  • G ¼"フランジは、Swagelok、Legris、Festoを含む幅広いコネクタと互換性があります。
  • 複数のガス (空気、N2 、O2 、 H2 、He、CH4 、N2O、Ar、CO2) 向けにキャリブレーション済
  • デジタルインターフェイス(温度補正出力搭載)
  • <100ms 整定時間
  • 最大10barの圧力抵抗
  • 平均故障間隔(MTBF):169年
  • 現場でのドリフトとキャリブレーション不要
  • NISTトレーサブル・キャリブレーション

アプリケーション

  • 分析機器
  • コーティング/エッチング機器
  • 医療機器
  • プロセスオートメーション
  • ガス混合
公開: 2022-07-11 | 更新済み: 2024-05-08